工作原理

1. 氣體檢測(cè)：MFC通常配備有氣體傳感器，可以實(shí)時(shí)檢測(cè)氣體的屬性，如壓力、溫度和氣體濃度等。傳感器將這些氣體屬性轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)。

2. 信號(hào)處理：傳感器產(chǎn)生的電信號(hào)被送到信號(hào)處理器中進(jìn)行處理，包括放大、濾波和線性化等步驟，以確保信號(hào)的可靠性和穩(wěn)定性。

3. 質(zhì)量流量計(jì)算：信號(hào)處理器將處理后的信號(hào)傳遞給質(zhì)量流量計(jì)算器進(jìn)行質(zhì)量流量的計(jì)算。計(jì)算器根據(jù)氣體的密度、壓力、溫度和流體狀態(tài)等參數(shù)，結(jié)合一定的計(jì)算公式，實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量。

4. 控制信號(hào)生成：質(zhì)量流量計(jì)算器將計(jì)算得到的質(zhì)量流量值與設(shè)定值進(jìn)行比較，生成控制信號(hào)。控制信號(hào)通常是電信號(hào)，根據(jù)設(shè)定值和實(shí)際值的差異，控制信號(hào)會(huì)有不同的大小和方向。

5. 閥門調(diào)節(jié)：控制信號(hào)被送到閥門執(zhí)行器，通過執(zhí)行器調(diào)節(jié)閥門的開度，從而控制氣體的流量。閥門執(zhí)行器通常是一種電動(dòng)執(zhí)行器，可以根據(jù)控制信號(hào)的大小對(duì)閥門進(jìn)行精確的調(diào)節(jié)。

6. 反饋控制：MFC通常還具備反饋控制功能，通過將執(zhí)行器和流量計(jì)等裝置的反饋信號(hào)與設(shè)定值進(jìn)行比較，實(shí)時(shí)調(diào)整控制信號(hào)的大小和方向，從而更加精確地控制氣體的流量。

   主要參數(shù)

7. 標(biāo)況及流量單位：MFC的流量值通常以標(biāo)況流量表示，標(biāo)況的定義可能因制造商而異，主要涉及溫度和氣壓的設(shè)定。常用的流量單位包括SLPM（標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘）和SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘）等。

8. 瞬時(shí)流量與累計(jì)流量：瞬時(shí)流量表示氣體的實(shí)時(shí)流量，而累計(jì)流量則是某段時(shí)間內(nèi)通過的氣體總量。

9. 設(shè)定流量：在MFC中設(shè)定的目標(biāo)流量值。

10. 工作壓力與耐壓：MFC正常工作時(shí)的進(jìn)口端壓力以及在不損壞的情況下所能承受的最大壓力。

11. 壓差與壓損：MFC進(jìn)氣端與出氣端的壓力差值以及由此產(chǎn)生的系統(tǒng)性壓阻。

12. 通訊方式與連接方式：MFC與配套設(shè)備控制系統(tǒng)之間的通訊方式以及MFC與管路的連接方式。