工作原理

1. 氣體檢測：MFC通常配備有氣體傳感器，可以實時檢測氣體的屬性，如壓力、溫度和氣體濃度等。傳感器將這些氣體屬性轉換為相應的電信號。

2. 信號處理：傳感器產生的電信號被送到信號處理器中進行處理，包括放大、濾波和線性化等步驟，以確保信號的可靠性和穩定性。

3. 質量流量計算：信號處理器將處理后的信號傳遞給質量流量計算器進行質量流量的計算。計算器根據氣體的密度、壓力、溫度和流體狀態等參數，結合一定的計算公式，實時準確地計算出氣體的質量流量。

4. 控制信號生成：質量流量計算器將計算得到的質量流量值與設定值進行比較，生成控制信號。控制信號通常是電信號，根據設定值和實際值的差異，控制信號會有不同的大小和方向。

5. 閥門調節：控制信號被送到閥門執行器，通過執行器調節閥門的開度，從而控制氣體的流量。閥門執行器通常是一種電動執行器，可以根據控制信號的大小對閥門進行精確的調節。

6. 反饋控制：MFC通常還具備反饋控制功能，通過將執行器和流量計等裝置的反饋信號與設定值進行比較，實時調整控制信號的大小和方向，從而更加精確地控制氣體的流量。

   主要參數

7. 標況及流量單位：MFC的流量值通常以標況流量表示，標況的定義可能因制造商而異，主要涉及溫度和氣壓的設定。常用的流量單位包括SLPM（標準升/分鐘）和SCCM（標準毫升/分鐘）等。

8. 瞬時流量與累計流量：瞬時流量表示氣體的實時流量，而累計流量則是某段時間內通過的氣體總量。

9. 設定流量：在MFC中設定的目標流量值。

10. 工作壓力與耐壓：MFC正常工作時的進口端壓力以及在不損壞的情況下所能承受的最大壓力。

11. 壓差與壓損：MFC進氣端與出氣端的壓力差值以及由此產生的系統性壓阻。

12. 通訊方式與連接方式：MFC與配套設備控制系統之間的通訊方式以及MFC與管路的連接方式。